【公开课】集成电路制造工艺 - 江苏信息职业技术学院（微电子工艺/微纳加工技术）

[视频作者] 微电子与纳电子学

[视频时长] 613:7

[视频类型] 校园学习

https://www.icourse163.org/course/JSIT-1001755051?tid=1003198002 本课程主要讲授集成电路制造的工艺原理、方法、设备及工艺中主要参数的测试和质量控制方法。在结构上对应集成电路产业链的环节，以集成电路生产过程为导向，根据企业岗位设置，对教学内容进行模块化设计，分基础模块、核心模块，拓展模块、提升模块四部分。设计既注重学生对集成电路的整个工艺过程有一完整的了解，同时又重点突出对集成电路芯片制造的五个核心工艺的把握。

【公开课】集成电路制造工艺 - 江苏信息职业技术学院（微电子工艺/微纳加工技术）